---Vejledning til valg af vakuumpumpe
Når du vælger en vakuumpumpe, skal du være opmærksom på følgende forhold:
1. Vakuumpumpens arbejdstryk skal opfylde de ultimative vakuum- og arbejdstrykkrav for vakuumudstyret. For eksempel: Vakuumbelægning kræver en vakuumgrad på 110-5mmHg, og vakuumgraden af den valgte vakuumpumpe skal være mindst 510-6mmHg. Normalt vælges pumpens vakuumgrad til at være en halv til en størrelsesorden højere end vakuumudstyrets vakuumgrad.
2. Vælg korrekt vakuumpumpens arbejdspunkt. Hver type pumpe har et bestemt arbejdstrykområde, såsom 10-3~10-7mmHg for en diffusionspumpe. Inden for et så bredt trykområde ændres pumpens pumpehastighed med trykket, og dens stabile arbejdstrykområde er 510-4 ~510-6mmHg. Derfor bør pumpens arbejdspunkt vælges inden for dette område og kan ikke tillades at arbejde under 10-8 mmHg i lang tid. Et andet eksempel er, at titaniumsublimationspumpen kan arbejde ved 10-2mmHg, men dens arbejdstryk bør være mindre end 110-5mmHg.
3. Vakuumpumpen skal være i stand til at udlede al den gas, der genereres under vakuumudstyrsprocessen, under sit arbejdstryk. 4. Kombiner vakuumpumpen korrekt. Da vakuumpumper har selektive pumpeevner, kan én type pumpe nogle gange ikke opfylde pumpekravene, og flere pumper skal kombineres for at komplementere hinanden for at opfylde pumpekravene. For eksempel har en titanium sublimationspumpe en høj pumpehastighed for brint, men kan ikke pumpe helium, mens en tripol sputtering ion pumpe (eller en diode asymmetrisk katode sputtering ion pumpe) har en vis pumpehastighed for argon. Tilsammen vil vakuumanordningen opnå en bedre vakuumgrad. Derudover kan nogle vakuumpumper ikke arbejde under atmosfærisk tryk og kræver præ-vakuum; nogle vakuumpumper har udløbstryk lavere end atmosfærisk tryk og kræver en støttepumpe, så pumperne skal kombineres.
5. Krav til olieforurening i vakuumudstyr. Hvis udstyret strengt stiller krav om oliefri, bør der vælges forskellige oliefrie pumper, såsom: vandringpumper, molekylsigte-adsorptionspumper, sputterionpumper, kryogene pumper osv. Hvis kravene ikke er skrappe, kan man vælge at have en oliepumpe og tilføje nogle anti-olieforureningsforanstaltninger, såsom tilføjelse af kuldefælder, bafler, oliefælder osv., for at opnå rent vakuumkrav.
6. Forstå sammensætningen af den pumpede gas, om den indeholder kondenserbar damp, om der er partikelstøv, om den er ætsende osv. Når du vælger en vakuumpumpe, skal du kende gassammensætningen og vælge den tilsvarende pumpe til gassen der skal pumpes. Hvis gassen indeholder dampe, partikler og ætsende gasser, bør du overveje at installere hjælpeudstyr, såsom kondensatorer, støvsamlere osv., på pumpens luftindtagsrørledning.
7. Hvilken indflydelse har oliedampen, der udledes fra vakuumpumpen, på miljøet? Hvis miljøet ikke tillader forurening, kan du vælge en oliefri vakuumpumpe eller udlede oliedampen udendørs.
8. Har de vibrationer, der genereres af vakuumpumpen under drift, nogen indflydelse på processen og miljøet? Hvis processen ikke tillader det, bør der vælges en vibrationsfri pumpe, eller der bør træffes anti-vibrationsforanstaltninger.
9. Vakuumpumpers pris, drift og vedligeholdelsesomkostninger.